微细加工技术期刊介绍
《微细加工技术》是由中国电子科技集团公司第48研究所主办，信息产业部主管的全国性电子类期刊，创刊于1983年，刊号（CN 43-1140/TN，ISSN 1003-8213），双月刊。该杂志以刊登电子科学论文、评价电子科研成果、探讨电子教学规律、传播电子教学经验、开展电子学术讨论、报道电子研究动态、提供国内外电子信息为主旨，引领电子前沿和热难点问题研究，助电子经学者成长。该刊级别为统计源期刊，欢迎广大读者订阅。
《微细加工技术》期刊栏目主要有：综述 电子束技术 离子束技术 光子束技术 薄膜技术 微机械加工技术 纳米技术
微细加工技术投稿须知
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（5）参考文献：作者年份制，正文中以（作者，年份）形式置于对应处；详细内容采用文后注形式，中文在前、英文在后，以音序排序，具体著录格式见附件。
微细加工技术文献分析
1、主要引证文献期刊分析
| 序号 | 期刊 | 涉及文献量 |
| 1 | 《微纳电子技术》 | 61 |
| 2 | 《光学精密工程》 | 50 |
| 3 | 《材料导报》 | 36 |
| 4 | 《电子工业专用设备》 | 36 |
| 5 | 《纳米技术与精密工程》 | 32 |
| 6 | 《半导体技术》 | 27 |
| 7 | 《功能材料与器件学报》 | 25 |
| 8 | 《传感技术学报》 | 24 |
| 9 | 《压电与声光》 | 24 |
| 10 | 《中国机械工程》 | 23 |
2、主要参考文献期刊分析
| 序号 | 期刊 | 涉及文献量 |
| 1 | 《半导体学报：英文版》 | 35 |
| 2 | 《中国机械工程》 | 27 |
| 3 | 《光学精密工程》 | 26 |
| 4 | 《物理学报》 | 26 |
| 5 | 《光电工程》 | 25 |
| 6 | 《微纳电子技术》 | 18 |
| 7 | 《机械工程学报》 | 16 |
| 8 | 《光学学报》 | 16 |
| 9 | 《电子工业专用设备》 | 16 |
| 10 | 《传感器技术》 | 14 |
微细加工技术主要发文机构分析
| 序号 | 机构名称 | 发文量 | 相关发文主题 |
| 1 | 中国科学院 | 192 | 光刻；电子束曝光；曝光机；电子束曝光机；掩模 |
| 2 | 上海交通大学 | 129 | 微机电系统；电系统；机电系统；MEMS；刻蚀 |
| 3 | 清华大学 | 60 | 微细；光刻；微细加工；离子束；聚焦离子束 |
| 4 | 中国科学技术大学 | 47 | 刻蚀；离子束；离子束刻蚀；光刻；衍射 |
| 5 | 电子工业部 | 46 | 离子注入；注入机；离子注入机；半导体；电路 |
| 6 | 中国科学院微电子研究所 | 38 | 光刻；掩模；X射线光刻；电子束曝光；分辨率 |
| 7 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 34 | 光栅；MEMS；刻蚀；光刻；传感 |
| 8 | 山东大学 | 29 | 电子束；电子束曝光；曝光机；电子束光刻；电子束曝光机 |
| 9 | 山东工业大学 | 28 | 电子束曝光；曝光机；电子束曝光机；电子束；电路 |
| 10 | 华中理工大学 | 26 | 刻蚀；溅射；半导体；等离子体；离子束 |
微细加工技术期刊文献
- 基于MEMS的无阀泵研究进展 作者：白兰; 冯志庆; 吴一辉；大连民族学院; 大连; 116600; 大连民族学院; 大连; 116600; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 长春130033
- 电感耦合等离子体源的研究进展 作者：杨定宇; 蒋孟衡；成都信息工程学院光电技术系; 成都; 610225; 成都信息工程学院光电技术系; 成都; 610225
- 光刻结合热解制备高深宽比碳微结构的新方法 作者：汤自荣; 姚园媛; 史铁林; 廖广兰；华中科技大学; 机械科学与工程学院; 武汉; 430074; 武汉光电国家试验室; 武汉; 430074; 华中科技大学; 机械科学与工程学院; 武汉; 430074; 武汉光电国家试验室; 武汉; 430074; 华中科技大学; 机械科学与工程学院; 武汉; 430074; 武汉光电国家试验室; 武汉; 430074; 华中科技大学; 机械科学与工程学院; 武汉; 430074; 武汉光电国家试验室; 武汉; 430074
- 基于光刻版的无留膜紫外纳米压印技术研究 作者：张亚军; 丁玉成; 卢秉恒；西安交通大学; 机械制造系统工程国家重点实验室; 西安; 710049; 西安交通大学; 机械制造系统工程国家重点实验室; 西安; 710049; 西安交通大学; 机械制造系统工程国家重点实验室; 西安; 710049
- 接近式光刻的角谱法仿真研究 作者：李晓光; 沈连; 郑津津; 李木军; 陈有梅；中国科学技术大学; 机密机械与精密仪器系; 合肥; 230027; 中国科学技术大学; 机密机械与精密仪器系; 合肥; 230027; 中国科学技术大学; 机密机械与精密仪器系; 合肥; 230027; 中国科学技术大学; 机密机械与精密仪器系; 合肥; 230027; 中国科学技术大学; 机密机械与精密仪器系; 合肥; 230027
- 评价任意面型微光学元件制作误差的方法 作者：高洪涛; 杜春雷; 张雨东；中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室; 成都610209; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室; 成都610209; 中国科学院光电技术研究所; 成都; 610209
- 自动微分法求解粒子光学像差的精度分析 作者：李文萍; 顾文琪；中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080
- 超磁致伸缩薄膜性能测试系统研究 作者：何滨; 章良; 宋祖殷；湖南建筑高级技工学校机电系; 长沙; 410015; 空军驻湖南军代室; 长沙; 410016; 空军驻湖南军代室; 长沙; 410016
投稿常见问题
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请问这本期刊属于什么级别呢？可用于职称评定吗？
微细加工技术杂志是由中国电子科技集团公司第48研究所主办的一本统计源期刊，国际刊号：1003-8213，国内刊号：43-1140/TN。微细加工技术杂志可用于职称评定，您可以放心投稿。
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你们能够提供哪些核心期刊的咨询服务？
大多数核心期刊我们都是可以提供咨询服务的。目前核心期刊主要分为以下几类：1.国内核心：按照权威度排序，社科类：南大核心>南大扩展>北大核心>科技核心 按照权威度排序。工科类：CSCD C库>CSCD E库（相当于CSCD扩展）>北大核心>科技核心。2.国外核心（全英文）：按照权威度排序为：SSCI=SCI>EI>ISTP=CPCI。
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想快速发表，可以加急吗？
为了确保您的职称评定顺利进行，我们建议提前半年到一年开始准备，这样能够保证有充足的时间来处理所有相关事宜。如果客户需要加急服务，我们会与杂志社进行沟通，以确定是否可以提供加急服务。请注意，如果确认可以加急，可能会收取一定的加急费用。
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你们提供的服务可以确保稿件被发表吗？
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请问期刊发表的费用如何？
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